Service Meter에서원소별 Lamp, Peak Wavelength, Peak Turret, Slit Width, Peak EHT 등을 설정하여 확인할 수 있다. Sample HC, Reference HC 값이 100에 가깝게 나오게 설정값을 변경하여 설정한다. (보통100 가깝게 값을 가지고, Sample HC와 Reference HC 의 차이가10 이하로 나오게 설정하면된다.) Start 누르면 Scan Intensity에서 확인도 가능하다.