수증기 증류는 그림3과 같이 증류 플라스크에 직접 수증기를 넣으면서 증류를 한다.

그림 3 수증기 증류 장치

원리는 수증기가 열원의 역할을 하고 목적 성분의 분압을 낮추고 끓는점을 낮게 만든다. 따라서 그 물질의 끓는점보다 낮은 온도에서 증류할 수 있다.

실제로는 포화 수증기나 과열 수증기를 사용하며, 그림 3와 같이 외부 가열도 해준다. 물에 대해서 용해도가 적고 끓는점에 분해되기 쉬운 물질에 대해서 적합하다.